電子行(xing)業生產工藝有(you)抗靜電、抗微振的要求,并且大(da)宗氣(qi)體(ti)和特(te)種(zhong)氣(qi)體(ti)種(zhong)類多,對(dui)純度和潔(jie)凈度要求高(gao)。因此整個工程建設(she)要根(gen)據需(xu)求合理設(she)計潔(jie)凈度等級、溫(wen)濕(shi)度、防微振、防靜電等從(cong)技術、工藝、能耗等方面規劃建設(she)。