 |
電(dian)子行(xing)業生(sheng)產工(gong)藝(yi)有抗靜電(dian)、抗微振的要(yao)求(qiu)，并且大宗氣(qi)體和特種(zhong)氣(qi)體種(zhong)類(lei)多(duo)，對(dui)純度(du)(du)和潔(jie)凈(jing)度(du)(du)要(yao)求(qiu)高。因此整(zheng)個工(gong)程建(jian)設(she)要(yao)根據(ju)需(xu)求(qiu)合理設(she)計(ji)潔(jie)凈(jing)度(du)(du)等(deng)級(ji)、溫濕度(du)(du)、防(fang)微振、防(fang)靜電(dian)等(deng)從技術(shu)、工(gong)藝(yi)、能耗(hao)等(deng)方(fang)面規(gui)劃(hua)建(jian)設(she)。
