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電子行(xing)業生產工(gong)(gong)藝有抗靜(jing)電、抗微振(zhen)的要(yao)求(qiu)，并且大宗氣體和特種氣體種類多，對純度(du)(du)和潔凈(jing)(jing)度(du)(du)要(yao)求(qiu)高。因此整個工(gong)(gong)程(cheng)建設(she)要(yao)根據需求(qiu)合理設(she)計潔凈(jing)(jing)度(du)(du)等級、溫濕度(du)(du)、防微振(zhen)、防靜(jing)電等從技術、工(gong)(gong)藝、能耗(hao)等方面規(gui)劃建設(she)。
